yy.vip易游-美泰申请集成应力梯度测试单元的MEMS晶圆及测试方法专利可避免使用光学设备进行

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　　国家知识产权局信息显示，河北美泰电子科技有限公司申请一项名为“一种集成应力梯度测试单元的MEMS晶圆及测试方法”的专利，公开号CN121540314A，申请日期为2026年1月。

　　专利摘要显示，本发明提供一种集成应力梯度测试单元的MEMS晶圆及测试方法，涉及MEMS测试技术领域。本发明通过设置整体固定于绝缘层上表面的第一下极板和第二下极板，以及悬空设置的上极板，形成极板正对面积相同的第一电容和第二电容。上极板的悬空设计使其可在应力梯度作用下自由弯曲，弯曲会改变上极板与下极板的极板间距，进而改变电容值。基于两电容的电容值大小关系，能够确定上极板的弯曲方向和弯曲程度，从而得到MEMS晶圆中与上极板同层的结构层薄膜的应力梯度。本发明实施例采用与现有MEMS晶圆制造工艺兼容的电容测试方式，通过两电容值同步得到弯曲方向和弯曲程度，进而得到应力梯度，可避免使用光学设备进行测试，降低了制造成本。

　　天眼查资料显示，河北美泰电子科技有限公司，成立于2011年，位于石家庄市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本3299.955万人民币。通过天眼查大数据分析，河北美泰电子科技有限公司参与招投标项目152次，财产线条，此外企业还拥有行政许可8个。

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